多重曝光中的顏色優(yōu)化注意事項(xiàng)

2018/09/06
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多重曝光中的顏色優(yōu)化注意事項(xiàng)

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在先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)中，要實(shí)現(xiàn)最佳性能和良率，需要超越設(shè)計(jì)規(guī)則的最低要求來(lái)優(yōu)化版圖。任何多重曝光版圖都有多種能通過(guò)多重曝光設(shè)計(jì)規(guī)則檢查 (DRC) 的著色配置。但是，選擇最佳著色方案可以提高制造良率和設(shè)計(jì)性能裕量。了解 Calibre Multi-Patterning 自動(dòng)著色解決方案及其內(nèi)置的分析功能如何大幅簡(jiǎn)化選擇最佳著色方案的工作，無(wú)論版圖如何復(fù)雜。

公司介紹

德國(guó)西門子股份公司（SIEMENS AG）創(chuàng)立于1847年，是全球電子電氣工程領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)。西門子自1872年進(jìn)入中國(guó)，140余年來(lái)以創(chuàng)新的技術(shù)、卓越的解決方案和產(chǎn)品堅(jiān)持不懈地對(duì)中國(guó)的發(fā)展提供全面支持，并以出眾的品質(zhì)和令人信賴的可靠性、領(lǐng)先的技術(shù)成就、不懈的創(chuàng)新追求，確立了在中國(guó)市場(chǎng)的領(lǐng)先地位。

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