半導(dǎo)體量/檢測(cè)光源：核心零部件+耗材

半導(dǎo)體量/檢測(cè)設(shè)備上游的核心零部件主要包括，運(yùn)動(dòng)與控制系統(tǒng)類(lèi)、光學(xué)類(lèi)、電氣類(lèi)、機(jī)械加工件、機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)件及其他部件。

光源屬于半導(dǎo)體量/檢測(cè)設(shè)備核心零部件，又有耗材屬性，壽命在幾百-幾千小時(shí)之間，“核心零部件+耗材”，構(gòu)成了這個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的投資邏輯。

半導(dǎo)體量/檢測(cè)需要用到不同波長(zhǎng)的光源，有白光源、單色光源和激光光源，針對(duì)不同的檢測(cè)材料、待測(cè)缺陷和雜質(zhì)，需要采用不同的光源。

隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，工藝制程進(jìn)入納米級(jí)，目前較先進(jìn)的量測(cè)設(shè)備已使用DUV波段光源，能夠檢測(cè)小于14納米的缺陷，并實(shí)現(xiàn)0.003納米的膜厚測(cè)量重復(fù)性。

明場(chǎng)和暗場(chǎng)是晶圓檢測(cè)的兩個(gè)基本原理，明場(chǎng)探測(cè)反射光，暗場(chǎng)探測(cè)散射光。明場(chǎng)對(duì)照明光束物理特征、成像系統(tǒng)、信噪比等方面的要求更加嚴(yán)格，無(wú)圖形晶圓的缺陷檢測(cè)使用暗場(chǎng)系統(tǒng)，有圖形晶圓的缺陷檢測(cè)使用明場(chǎng)系統(tǒng)或是二者的結(jié)合。

國(guó)內(nèi)做半導(dǎo)體量/檢測(cè)設(shè)備公司已經(jīng)出現(xiàn)不少，精測(cè)電子、中科飛測(cè)、賽騰股份、上海睿勵(lì)、東方晶源、御微、優(yōu)睿譜、微崇、中安、法博思、埃芯、蓋澤、匠嶺為代表，但這些公司的光源核心零部件，主要還是依賴(lài)國(guó)外廠(chǎng)商。

半導(dǎo)體量/檢測(cè)光源的國(guó)際大廠(chǎng)包括美國(guó)相干公司、日本濱松光子。美國(guó)相干公司年收入規(guī)模為52億美元（約380億人民幣），日本濱松光子年收入規(guī)模為1700億日元（約83億人民幣）。注：兩個(gè)公司還有其它業(yè)務(wù)分支。

半導(dǎo)體量/檢測(cè)設(shè)備光源全球市場(chǎng)規(guī)模約為45億美元，含10億美元新增設(shè)備規(guī)模和35億美元零部件更新替換規(guī)模。

作者簡(jiǎn)介：步日欣

創(chuàng)道硬科技創(chuàng)始人，北京郵電大學(xué)經(jīng)管學(xué)院特聘導(dǎo)師、中國(guó)生產(chǎn)力促進(jìn)中心協(xié)會(huì)專(zhuān)家、天津市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)顧問(wèn)、浙商證券研究院專(zhuān)家。電子工程本科、計(jì)算機(jī)碩士學(xué)位，具有證券從業(yè)資格、基金從業(yè)資格，先后就職于亞信咨詢(xún)、中科院賽新資本、東旭金控集團(tuán)等，擁有IT研發(fā)、咨詢(xún)、投融資十五年以上經(jīng)驗(yàn)，關(guān)注投資領(lǐng)域?yàn)榘雽?dǎo)體、智能制造、新能源等。