“SiCN”專為中國市場打造，PVA TePla助推新質(zhì)生產(chǎn)力

第三代半導(dǎo)體材料禁帶寬度大，具有擊穿電場高、熱導(dǎo)率高、電子飽和速率高、抗輻射能力強等優(yōu)勢，不僅能在更高溫度下穩(wěn)定運行，適用于高電壓、高頻率場景，還能以較少的電能消耗，獲得更高的運行能力。

尤其以碳化硅（SiC）為代表的第三代半導(dǎo)體材料，隨著制備工藝逐步成熟，生產(chǎn)成本不斷降低，碳化硅在下游新能源汽車、光伏發(fā)電、儲能等應(yīng)用領(lǐng)域的滲透率持續(xù)提高，碳化硅半導(dǎo)體整體市場規(guī)模呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢。而碳化硅晶片作為襯底材料，主要技術(shù)難點在于晶體生長，碳化硅晶體生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和質(zhì)量一致性具有關(guān)鍵作用。

全球半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國PVA TePla集團本次亮相半導(dǎo)體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024，向行業(yè)展示其最新打造的國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備“SiCN”。 德國PVA TePla集團半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負(fù)責(zé)人謝秀紅介紹：“該設(shè)備專為中國市場定制，并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點，將德國的設(shè)計經(jīng)驗和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合，采用PVT法（物理氣相傳輸工藝）生產(chǎn)碳化硅晶體，計劃于2024年第二季度投入市場?！?/p>

圖源：SEMICON China 2024，PVA TePla媒體會，德國PVA TePla集團半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負(fù)責(zé)人謝秀紅

“SiCN”具有如下特點，

• 定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機密，定制化晶體生長平臺對于驗證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨特的工藝和知識產(chǎn)權(quán)需求，從而實現(xiàn)無縫擴展以進行大規(guī)模生產(chǎn)。
• 靈活性：“SiCN”的設(shè)計可采用和更換成熟供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)組件以及定制組件，保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果，實現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進步。
• 可靠生產(chǎn)：“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計緊湊，自動化程度高，可最大化節(jié)約整體運營空間，同時方便維護，可實現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)?？蛻暨€可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設(shè)備等其他部件，進一步提升系統(tǒng)功能。
• 高生產(chǎn)效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行，因此優(yōu)異的能源效率可以實現(xiàn)更佳的成本效益?！癝iCN”采用經(jīng)驗證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計，實現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱，有效降低能耗，優(yōu)化生產(chǎn)成本。

值得關(guān)注的是，作為最早將碳化硅晶體設(shè)備引入中國市場的企業(yè)之一，德國PVA TePla集團是全球領(lǐng)先的材料和測量測試技術(shù)領(lǐng)域高科技解決方案供應(yīng)商，成立于1991年，業(yè)務(wù)遍布全球8個國家，其中亞洲地區(qū)貢獻39%的營業(yè)收入。近年來集團營業(yè)收入保持穩(wěn)定增長并呈現(xiàn)加速態(tài)勢，2022年和2023年營業(yè)收入分別增長31.8%、28%。

圖源：SEMICON China 2024，PVA TePla媒體會

德國PVA TePla集團已在全球范圍內(nèi)銷售SiC晶體生長系統(tǒng)，并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長晶設(shè)備，其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關(guān)鍵作用。德國PVA TePla集團致力于融合中德前沿技術(shù)優(yōu)勢，“SiCN”融匯了中國的本土化采購、生產(chǎn)配套能力和德國的技術(shù)積累和傳承，通過設(shè)備更好的可靠性和一致性運行，有效提高良品率，在降低制造成本的同時達到更優(yōu)效益，幫助下游客戶有效提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。

謝秀紅表示：“西安普發(fā)半導(dǎo)體作為實現(xiàn)德國PVA集團中國布局的戰(zhàn)略平臺，將為集團公司實現(xiàn)設(shè)備零部件的國內(nèi)采購、加工制造、安裝調(diào)試提供本地支持，致力于實現(xiàn)高端設(shè)備國產(chǎn)化，服務(wù)于中國半導(dǎo)體材料市場，為中國半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)原材料的技術(shù)突圍提供強有力的支持。”

碳化硅市場高質(zhì)量發(fā)展離不開產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)廠商的協(xié)同助力，以PVA TePla為代表的設(shè)備廠商們正持續(xù)推動技術(shù)創(chuàng)新，提供高效可靠的生產(chǎn)設(shè)備和精準(zhǔn)的服務(wù)支持，滿足市場對高性能碳化硅產(chǎn)品的不斷增長的需求。