EUV光刻機(jī)有多牛？

華為的麒麟990系列芯片、蘋果手機(jī)的A14處理器（5納米工藝）以及M1處理器以及三星的Exynos 9825處理器都是用EUV光刻機(jī)生產(chǎn)出來(lái)的。

換句話說(shuō)，7納米以下的芯片，沒(méi)有EUV光刻機(jī)造不出來(lái)！

工藝制程越先進(jìn)的芯片，光刻機(jī)的分辨率越高。而光刻機(jī)的分辨率提升原理很簡(jiǎn)單，但是工程制造很復(fù)雜，原理全靠這個(gè)公式：

從1985年到2020年的35年期間，業(yè)界靠減少波長(zhǎng)（λ）、減少K1、增加數(shù)值孔徑NA才把光刻機(jī)的分辨率提升了2個(gè)數(shù)量級(jí)，從原來(lái)的1000納米提升到幾個(gè)納米。

高NA數(shù)值的EUV光刻機(jī)內(nèi)部結(jié)構(gòu)長(zhǎng)成這樣，很復(fù)雜，造價(jià)上億美元！可以說(shuō)是人類歷史上最復(fù)雜、最昂貴的機(jī)器之一。

一臺(tái)EUV光刻機(jī)重達(dá)28噸，需要波音飛機(jī)B747運(yùn)輸。

芯片國(guó)產(chǎn)化第一關(guān)，先造光刻機(jī)。國(guó)產(chǎn)EUV光刻機(jī)路還很長(zhǎng)，現(xiàn)在還處于從0到1階段。