Scanner為什么那么快？

知識星球（星球名：芯片制造與封測技術(shù)社區(qū)，星球號：63559049）里的學(xué)員問：ASML的TWINSCAN XT系列的scanner機臺的WPH最高能達到300pcs，為什么Scanner的產(chǎn)能遠遠高于stepper？

什么是stepper和scanner？

sepper，全名步進投影式光刻機。Stepper 每次曝光晶圓上的一小塊區(qū)域，即一個shot，然后晶圓在曝光后移動到下一個區(qū)域，重復(fù)此過程，逐步曝光整個晶圓。scanner,全名步進掃描投影式光刻機。

為什么Scanner更快？

這要從其工作原理來入手。

Stepper 每次曝光晶圓上的一小塊區(qū)域，即一個shot，然后只有晶圓在曝光后移動到下一個區(qū)域，掩模版不動重復(fù)此過程，逐步曝光整個晶圓。

而Scanner是一個狹長的光束（狹縫光束）投影到晶圓的每個芯片上進行曝光。晶圓在曝光時不斷移動，掩模和晶圓之間向相反方向移動，光束逐步掃描整個晶圓。見視頻：在Scanner中，掩模版和晶圓在曝光時同時移動，減少了曝光過程中的停頓時間。另一方面Scanner在曝光時不需要頻繁地進行對準和定位。這兩個方面使Scanner極大地提高了時間利用率。

哪些機臺會用Scanner的方式？

以ASML的機臺為例，之前的i線光刻機普遍采用的是stepper，現(xiàn)有的DUV,EUV產(chǎn)品均是采用的是Scanner。

歡迎加入我的半導(dǎo)體制造知識星球社區(qū)，目前社區(qū)有1900人左右。在這里會針對學(xué)員問題答疑解惑，上千個半導(dǎo)體行業(yè)資料共享，內(nèi)容比文章豐富很多很多，適合快速提升半導(dǎo)體制造能力，介紹如下：? ? ?《歡迎加入作者的芯片知識社區(qū)！》