芯耀
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近日，第二十五屆中國專利獎評選結(jié)果正式揭曉。本屆金獎評選中雖未有半導(dǎo)體企業(yè)上榜，但銀獎名單中共出現(xiàn)五家半導(dǎo)體企業(yè)的身影，展現(xiàn)了行業(yè)的創(chuàng)新活力。這五家企業(yè)分別是中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司深圳新聲半導(dǎo)體有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司以及山東天岳先進科技股份有限公司（以下分別簡稱“中微公司、新聲半導(dǎo)體、華海清科、風(fēng)華高科、天岳先進”）。
其中，中微公司、華海清科和風(fēng)華高科三家為已經(jīng)上市的龍頭企業(yè)，另外兩家則是快速崛起的行業(yè)新星，分別在國產(chǎn)濾波器和碳化硅材料領(lǐng)域展現(xiàn)了獨特優(yōu)勢。
- 中微公司
中微公司在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域擁有顯著市場優(yōu)勢，已打入5nm制程。目前該公司針對邏輯和存儲芯片制造中最關(guān)鍵刻蝕工藝的多款設(shè)備已進入量產(chǎn)驗證階段，針對超高深寬比刻蝕的大功率400kHz偏壓射頻的PrimoUD-RIE已在生產(chǎn)線驗證出具有刻蝕≥60:1深寬比結(jié)構(gòu)的量產(chǎn)能力，同時公司儲備更高深寬比結(jié)構(gòu)（≥90:1）刻蝕的前衛(wèi)技術(shù)。此外，公司晶圓邊緣Bevel刻蝕設(shè)備完成開發(fā)，即將進入客戶驗證。
在薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，中微公司正試圖通過差異化競爭和技術(shù)創(chuàng)新來擴大自己的市場規(guī)模和版圖，其鎢系列薄膜沉積產(chǎn)品可覆蓋存儲器件所有鎢應(yīng)用，并已完成多家邏輯和存儲客戶對CVD/HAR/ALDW鎢設(shè)備的驗證，取得了客戶訂單。
此次，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司聯(lián)合南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司研發(fā)出了“一種化學(xué)氣相沉積裝置及其清潔方法”（專利號：ZL201510218357.1），成功解決了設(shè)備清潔難題，為高效生產(chǎn)提供了技術(shù)支持，鞏固了其在半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
- 新聲半導(dǎo)體
成立僅三年的深圳新聲半導(dǎo)體有限公司，憑借卓越的芯片研發(fā)與制造能力，在模擬芯片領(lǐng)域豎起了品牌壁壘。
此次，新聲半導(dǎo)體在濾波器技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新表現(xiàn)亮眼，憑借“體聲波諧振器”（專利號：ZL202210796817.9）榮獲中國專利獎銀獎。
該專利技術(shù)突破了傳統(tǒng)設(shè)計的瓶頸，通過創(chuàng)新實現(xiàn)了平坦的電極和壓電薄膜結(jié)構(gòu)，顯著提升了諧振器的品質(zhì)因數(shù)。該技術(shù)已經(jīng)成功應(yīng)用于手機、平板電腦、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備及可穿戴設(shè)備等多種通信產(chǎn)品，為5G通信提供了更加穩(wěn)定和高效的射頻解決方案。
依靠創(chuàng)新力量和優(yōu)秀的市場表現(xiàn)，新聲半導(dǎo)體正快速躋身全球體聲波諧振器技術(shù)的領(lǐng)先行列，成為國產(chǎn)濾波器領(lǐng)域的重要力量。
- 華海清科
華海清科是國內(nèi)唯一一家實現(xiàn)12英寸CMP設(shè)備量產(chǎn)的廠商，其12英寸CMP設(shè)備Universal-300系列可支持支持28nm及以上制程，同時部分型號如Universal-300X和Universal-300T正在14nm及以下制程進行驗證。
此次，華海清科股份有限公司的“化學(xué)機械拋光機及具有它的化學(xué)機械拋光設(shè)備”（專利號：ZL201010246628.1）填補了國內(nèi)CMP設(shè)備技術(shù)空白，為高端芯片制造的關(guān)鍵工藝提供了可靠支持，助力國產(chǎn)化進程加速。
- 風(fēng)華高科
風(fēng)華高科是被動元件國內(nèi)龍頭企業(yè)，在MLCC等領(lǐng)域表現(xiàn)不俗，公司主營產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于消費電子、家電、通訊、汽車、工控新能源、PC、無人機、醫(yī)療電子等領(lǐng)域。
此次，廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司憑借“一種抗硫化片式電阻器及其制造方法”（專利號：ZL201810958732.X）榮獲銀獎。該技術(shù)顯著提高了片式電阻器在復(fù)雜環(huán)境下的穩(wěn)定性，鞏固了風(fēng)華高科在電子元件領(lǐng)域的市場地位。
- 天岳先進
天岳先進是國際上少數(shù)在半絕緣型碳化硅襯底和導(dǎo)電型碳化硅襯底領(lǐng)域同時具有知名度的襯底廠商，實現(xiàn)了從 2 英寸襯底到 8 英寸襯底的制備，并具備 8 英寸碳化硅襯底的規(guī)?；a(chǎn)能力，在全球市場上占據(jù)了領(lǐng)先地位。其客戶覆蓋了全球前十大功率半導(dǎo)體企業(yè)的一半以上，包括英飛凌、博世、安森美等國際一線功率器件大廠。
此次，碳化硅襯底供應(yīng)商天岳先進憑借“一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底”（專利號：ZL201811205291.2）獲得銀獎。
值得一提的是，該公司近日表示，其正在推進港股IPO進程，借助資本市場的力量進一步推動技術(shù)研發(fā)和市場拓展。
除了以上五家獲得銀獎的半導(dǎo)體企業(yè)外，在610個優(yōu)秀獎項中還有北方華創(chuàng)、華潤微、芯?？萍肌B門三安、富滿微、上海新昇等多家半導(dǎo)體領(lǐng)軍企業(yè)的身影。
據(jù)了解，中國專利獎是由國家知識產(chǎn)權(quán)局和世界知識產(chǎn)權(quán)組織共同主辦的我國專利領(lǐng)域最高獎項，是專門獎勵專利權(quán)人和發(fā)明人的國家級獎項，分為金獎、銀獎和優(yōu)秀獎三類。獎項評選注重知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)造、保護與運用，對推動技術(shù)創(chuàng)新和經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展具有重要意義。
對于半導(dǎo)體這樣典型的硬科技行業(yè)而言，技術(shù)創(chuàng)新不僅是企業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動力，更是提升國際競爭力的關(guān)鍵。在中國專利獎的舞臺上，越來越多的半導(dǎo)體企業(yè)通過專利技術(shù)的突破和商業(yè)化應(yīng)用，展現(xiàn)出強勁的研發(fā)能力和發(fā)展?jié)摿?。這些努力將為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球競爭中注入源源不斷的動力。
本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各個細分領(lǐng)域，內(nèi)卷現(xiàn)象層出不窮，但無盡的內(nèi)卷顯然無法擔(dān)起整個國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈前行的重任，唯有投入研發(fā)、不斷創(chuàng)新才是中國半導(dǎo)體行業(yè)每一個細分領(lǐng)域的共同出路。
