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從設(shè)計(jì)、測(cè)試到封裝,5G毫米波技術(shù)面臨哪些挑戰(zhàn)?

2016/07/01
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運(yùn)營(yíng)商、設(shè)備廠商和芯片廠商正在齊心協(xié)力地推動(dòng)第五代移動(dòng)通信標(biāo)準(zhǔn)(即 5G)的制定。5G 是現(xiàn)在 4G(也稱為長(zhǎng)期演進(jìn)項(xiàng)目,Long term evolution,即 LTE)移動(dòng)通信標(biāo)準(zhǔn)的下一代,5G 數(shù)據(jù)傳輸速率可超過(guò) 10Gbps,是現(xiàn)在 LTE 標(biāo)準(zhǔn)的 100 倍。5G 技術(shù)能否成為現(xiàn)實(shí),現(xiàn)在還是一個(gè)疑問(wèn)。

不過(guò),5G 市場(chǎng)已經(jīng)開(kāi)始升溫。Anokiwave、博通英特爾、Qorvo、高通、三星以及其他不斷涌現(xiàn)出來(lái)的廠商,正在開(kāi)發(fā) 5G 芯片。完成 5G 網(wǎng)絡(luò)部署還面臨諸多挑戰(zhàn),舉個(gè)例子,雖然設(shè)備商和芯片廠商已經(jīng)在開(kāi)發(fā) 5G 產(chǎn)品,但 5G 標(biāo)準(zhǔn)還沒(méi)有確定。

現(xiàn)在的 LTE 網(wǎng)絡(luò)工作頻率從 700MHz 橫跨至 3.5GHz,5G 網(wǎng)絡(luò)則不僅要兼容 LTE 網(wǎng)絡(luò),還須支持公用免費(fèi)(unlicensed,設(shè)備廠商不需要購(gòu)買許可費(fèi)用)或毫米波頻段(注:目前毫米波波段基本免費(fèi),但免費(fèi)波段不等于毫米波波段)。嚴(yán)格意義的毫米波頻率為 30GHz 至 300GHz,對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)分別為 10mm 到 1mm,毫米波通信將極大提高無(wú)線數(shù)據(jù)傳輸的速率。

早期的 5G 新工作頻率會(huì)是 28GHz(美國(guó))與 39GHz(歐洲),后面將引入其他頻率,例如 60GHz(注,通信行業(yè)不太看好 60GHz,因?yàn)?60GHz 信號(hào)傳播的大氣衰減比較嚴(yán)重)、71GHz 至 86GHz,甚至可能用到 300GHz。

要支持毫米波通信,移動(dòng)系統(tǒng)和基站必須配備更新更快的應(yīng)用處理器、基帶以及射頻器件。事實(shí)上,5G 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)射頻影響較大,需要一系列新的射頻芯片技術(shù)來(lái)支持,例如支持相控天線的毫米波技術(shù)。毫米波技術(shù)最早應(yīng)用在航空軍工領(lǐng)域,如今汽車?yán)走_(dá)、60GHz Wi-Fi 都已經(jīng)采用,將來(lái) 5G 也必然會(huì)采用。

把毫米波技術(shù)從航天軍工領(lǐng)域引入到商用市場(chǎng)并不容易。“毫米波技術(shù)還面臨一些挑戰(zhàn),”GlobalFoundries 射頻市場(chǎng)總監(jiān) Peter Rabbeni 說(shuō)道,“設(shè)計(jì)與設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn),以及毫米波產(chǎn)品測(cè)試都會(huì)遇到不少困難。這主要是因?yàn)楹撩撞l率太高了。”

設(shè)計(jì)毫米波芯片很難,但測(cè)試會(huì)更難。“在業(yè)內(nèi),我們很早就開(kāi)始測(cè)試毫米波產(chǎn)品,但這些毫米波芯片主要用于航天軍工市場(chǎng)。”NI 銷售與市場(chǎng)執(zhí)行副總裁 Eric Starkloff 說(shuō)道,“毫米波測(cè)試的成本很高,我們正在努力大幅度降低毫米波測(cè)試的成本,這樣才有可能大規(guī)模推廣毫米波。”

雖然 5G 技術(shù)面臨諸多挑戰(zhàn),但 Verizon 計(jì)劃 2017 年的時(shí)候在美國(guó)提供部分 5G 服務(wù),韓國(guó)電信與三星則計(jì)劃 2018 年冬奧會(huì)期間提供 5G 服務(wù),但大規(guī)模 5G 部署不會(huì)早于 2020 年。

"我很懷疑,即使到 2020 年,5G 能否提供較為完善的移動(dòng)服務(wù),”Forward Concepts 總裁 Will Strauss 說(shuō),“當(dāng)然,2018 年會(huì)有 5G 試運(yùn)行網(wǎng)絡(luò)提供高速移動(dòng)通信服務(wù),不過(guò)那時(shí)候能夠買得起 5G 手機(jī)的人非常少。”

雖然離 5G 真正實(shí)現(xiàn)尚有很長(zhǎng)時(shí)間,但業(yè)界需要認(rèn)真審視 5G 技術(shù),以跟隨發(fā)展到步伐。下面我們就從芯片、工藝、測(cè)試和封裝等角度來(lái)詳細(xì)分析一下 5G 技術(shù)現(xiàn)狀。

什么是 5G?
到底什么是 5G?為什么我們需要 5G?現(xiàn)在,多數(shù)運(yùn)營(yíng)商部署的 4G 移動(dòng)通信標(biāo)準(zhǔn)被成為 LTE 升級(jí)版(LTE Advanced ,為 LTE 標(biāo)準(zhǔn)的第 10 版,簡(jiǎn)稱 LTE-A)。根據(jù) 4G 技術(shù)規(guī)范,運(yùn)營(yíng)商部署了第四級(jí)(Cat 4)與第六級(jí)(Cat 6)LTE-A 移動(dòng)通信網(wǎng)絡(luò),第四級(jí) LTE-A 下載速度可達(dá) 150Mbps,第六級(jí) LTE-A 下載速度更高,可達(dá) 300Mbps。

再過(guò)一段時(shí)間,運(yùn)營(yíng)商將部署 LTE-A Pro(為 LTE 標(biāo)準(zhǔn)的第13版),LTE-A 被認(rèn)為是 4.5G 技術(shù),被看作通向 5G 的跳板。根據(jù) NI 的資料,LTE-A Pro 支持 32 個(gè)載波單元(LTE-A 是 5 個(gè)),大規(guī)模多入多出技術(shù)(Massive MIMO)以及免費(fèi)頻段 LTE 技術(shù)等。這些技術(shù)都是 5G 技術(shù)的一部分,不過(guò) 5G 技術(shù)將進(jìn)一步把工作頻率拓展到毫米波頻段。對(duì)于 LTE-A Pro,運(yùn)營(yíng)商會(huì)部署第十級(jí)(Cat 10)移動(dòng)網(wǎng)絡(luò),支持 450Mbps 下載速度,部分運(yùn)營(yíng)商會(huì)部署下載速度達(dá) 1Gpbs 的第 16 級(jí)(Cat 16)移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)。

雖然現(xiàn)在 4G 網(wǎng)絡(luò)速度還不錯(cuò),但根據(jù)愛(ài)立信的估計(jì),從 2015 到 2021 年,移動(dòng)數(shù)據(jù)流量每年增長(zhǎng)率在 45%左右,到 2021 年每部手機(jī)每月數(shù)據(jù)流量將從 2015 年的 1.4GB 增長(zhǎng)到 8.9GB 左右。

因?yàn)橐苿?dòng)數(shù)據(jù)流量飛速增長(zhǎng)等原因,人們對(duì) 5G 技術(shù)的需求是真實(shí)存在的。不同運(yùn)營(yíng)商提供的 5G 服務(wù)可能互有區(qū)別,但大體上每家運(yùn)營(yíng)商選擇的 5G 技術(shù)都包括以下三項(xiàng):增強(qiáng)型移動(dòng)寬帶、物聯(lián)網(wǎng)和機(jī)器通信。

增強(qiáng)型移動(dòng)寬帶引入毫米波技術(shù),可使移動(dòng)數(shù)據(jù)傳輸速率超過(guò) 10Gbps。5G 網(wǎng)絡(luò)容量是 4G 的 1000 多倍,傳輸延遲降低到 4G 的十分之一。物聯(lián)網(wǎng)主要是指基于無(wú)線網(wǎng)絡(luò)的技術(shù),為了物聯(lián)網(wǎng)更好的發(fā)展,現(xiàn)在業(yè)界也制定了一個(gè)窄帶無(wú)線互聯(lián)標(biāo)準(zhǔn),成為窄帶物聯(lián)網(wǎng)(NBIOT)。同時(shí),5G 包含一種單獨(dú)的機(jī)器對(duì)機(jī)器通信協(xié)議(M2M),5G 中規(guī)定的 M2M 協(xié)議被稱為 LTE-M。

“5G 中對(duì)低功耗和長(zhǎng)電池壽命提出了要求,”NI 首席市場(chǎng)經(jīng)理 David Hall 說(shuō),“ NBIOT 和 LTE-M 都是為機(jī)器與機(jī)器通信而設(shè)計(jì)的,在現(xiàn)有移動(dòng)通信協(xié)議上進(jìn)行了修改,它們?cè)谏漕l方面都比較簡(jiǎn)單。”

那么引入這些標(biāo)準(zhǔn)的副作用在哪里? WiFi 等無(wú)線技術(shù)都能被置于 5G 概念內(nèi),將是整個(gè)市場(chǎng)變得復(fù)雜、不確定甚至混亂。例如,5G 或許會(huì)把 60GHz 無(wú)線網(wǎng)絡(luò)技術(shù)(WiGig)包含進(jìn)來(lái),其他的無(wú)線標(biāo)準(zhǔn)也在不斷涌現(xiàn),例如 LoRa 和 Sigfox。

但是不太可能(如果不是不可能)設(shè)計(jì)出一顆射頻芯片支持所有國(guó)家的所有無(wú)線通信標(biāo)準(zhǔn)。“你能同時(shí)滿足所有的需求嗎?不能!”ADI 公司通信基礎(chǔ)設(shè)施部門首席技術(shù)官 Thomas Camerson 斬釘截鐵地說(shuō)。所以,將來(lái)運(yùn)營(yíng)商只會(huì)支持一部分 5G 標(biāo)準(zhǔn)。“(運(yùn)營(yíng)商的)目標(biāo)是建成一個(gè)靈活的網(wǎng)絡(luò),可以滿足細(xì)分的垂直市場(chǎng)需求。”Camerson 說(shuō)道。

此外,相比 4G,毫米波信號(hào)傳輸距離變短,由于波長(zhǎng)變短和空氣吸收等因素影響,5G 信號(hào)傳播距離大約為 200 米。為了滿足短距離傳輸范圍的數(shù)據(jù)流量需求,5G 將采用大規(guī)模多入多出技術(shù)(Massive MIMO),通過(guò)使用多根天線來(lái)倍增系統(tǒng)通信容量。從這個(gè)例子可以管窺 5G 網(wǎng)絡(luò)有多復(fù)雜。

透視 5G 手機(jī)
4G 手機(jī)里面的數(shù)字部分包括應(yīng)用處理器和調(diào)制解調(diào)器,射頻前端則包括功率放大器(PA)、射頻信號(hào)源和模擬開(kāi)關(guān)。功率放大器用于放大手機(jī)里的射頻信號(hào),通常采用砷化鎵(GaAs)材料的異質(zhì)結(jié)晶體管(HBT)技術(shù)制造。

未來(lái)的 5G 手機(jī)也要有應(yīng)用處理器和調(diào)制解調(diào)器。不過(guò)與 4G 系統(tǒng)不同,5G 手機(jī)還需要相控陣天線。相控陣天線由一組可獨(dú)立發(fā)射信號(hào)的天線組成,利用波束成型技術(shù),每根相控天線都可以根據(jù)波束來(lái)調(diào)整方向。

5G 智能手機(jī)中可能需要 16 跟天線。“每根天線都有獨(dú)立的 PA 和移相器,并與一個(gè)覆蓋整個(gè)工作頻率的信號(hào)收發(fā)器相連,”Strategy Analytics 行業(yè)分析師 Chris Taylor 說(shuō)道,“理想的狀況是把天線放在信號(hào)收發(fā)器上面,或者與收發(fā)器做在一起,所以信號(hào)收發(fā)器要有多個(gè)由小的 PA 組成的發(fā)射通道。所有進(jìn)出天線的信號(hào)都在模擬域處理。”

用毫米波器件設(shè)計(jì)一個(gè)系統(tǒng)非常有挑戰(zhàn)性。“很多客戶不但關(guān)心系統(tǒng)的架構(gòu),還想知道究竟用什么技術(shù)來(lái)具體實(shí)現(xiàn),”GlobalFoundries Rabbeni 說(shuō)道,“這很大程度上取決于系統(tǒng)要集成多少功能,以及如何劃分子系統(tǒng)。”

“此外,布局布線對(duì)于毫米波的影響很大,”Rabbeni 說(shuō),“各個(gè)部件之間靠得很近以減小損耗。處理毫米波電路不是一件容易事。”

相控陣器件通常由不同的工藝制造而成,不過(guò)現(xiàn)在多數(shù)采用標(biāo)準(zhǔn) CMOS 工藝和硅鍺(SiGe)工藝。“在毫米波相控陣 / 主動(dòng)天線應(yīng)用中,硅鍺工藝已經(jīng)得到了證明。”TowerJazz 高級(jí)戰(zhàn)略市場(chǎng)總監(jiān) Amol Kalburge 說(shuō)。

"此外,硅鍺材料可以把先進(jìn) CMOS 工藝和片上無(wú)源器件集成在一起,這樣就減小系統(tǒng)級(jí)芯片(SoC)的面積以提高集成度,并在成本與性能的平衡上做到更好,”Kalburge 說(shuō),“我們認(rèn)為硅鍺材料將在 5G 射頻前端 IC 發(fā)揮重大作用,當(dāng)然也會(huì)用到其他三 - 五價(jià)材料。”

“在 6GHz 頻率以下的應(yīng)用中,SOI 工藝的開(kāi)關(guān)將繼續(xù)是主流,但 SOI 開(kāi)關(guān)在毫米波頻率的應(yīng)用研究還不充分,其可發(fā)揮的作用與可能遇到的問(wèn)題還是個(gè)未知數(shù)。波束成型天線可以支持不同的收發(fā)通道,所以在毫米波中有可能不需要天線開(kāi)關(guān)也能實(shí)現(xiàn)兩個(gè)通道的完全隔離。如果毫米波應(yīng)用仍然需要模擬開(kāi)關(guān),現(xiàn)在的 SOI 工藝開(kāi)關(guān)由于插入損耗高,很有可能不可用。SOI 工藝的不足將給 MEMS 工藝開(kāi)關(guān)或其他新技術(shù)帶來(lái)機(jī)會(huì)。”Kalburge 說(shuō)道。

硅鍺采用 8 英寸晶圓的標(biāo)準(zhǔn) CMOS 制造流程,晶圓代工廠也在持續(xù)提高硅鍺工藝的性能。例如,GlobalFoundries 最近推出的 130nm 硅鍺工藝,其工作頻率最高可達(dá) 340GHz,比舊工藝提高了 25%。此外,TowerJazz 最近也推出了 130nm 硅鍺工藝。

與 4G 手機(jī)一樣,5G 手機(jī)也需要功率放大器。“毫米波應(yīng)用中,功率放大器將是系統(tǒng)功耗的決定性因素,”三星美國(guó)研究中心的主任工程師 Jeffery Curtis 說(shuō)道,“毫米波系統(tǒng)中有現(xiàn)成的功率放大器可用,但現(xiàn)在的毫米波系統(tǒng)對(duì)于射頻前端的要求與移動(dòng)通信中的要求有很大區(qū)別。”

三星已經(jīng)為 5G 應(yīng)用開(kāi)發(fā)了一款 28GHz 的集成了低噪聲放大器(LNA)和模擬開(kāi)關(guān)的功率放大器。該器件使用 0.15 微米的 GaAs 工藝,“根據(jù)應(yīng)用場(chǎng)景,對(duì) PA 和 LNA 進(jìn)行了特殊設(shè)計(jì),我們把功耗降低了 65%,”Curtis 說(shuō),“將這些器件集成在一起減小尺寸,是把其應(yīng)用到手機(jī)的關(guān)鍵一步。”

除了 GaAs,業(yè)界也在嘗試其他的三五價(jià)材料來(lái)制造 PA,例如硅鍺。“與制造 PA 所使用的其他工藝相比,GaAs 在效率、線性度和頻率范圍等方面都有優(yōu)勢(shì),”Strategy Analytics 分析師 Eric Higham 說(shuō),“與硅基工藝相比,GaAs 工藝的缺點(diǎn)是成本比較高,不易集成。”

Higham 表示,GaAs 代工廠大部分還采用 4 英寸晶圓來(lái)生產(chǎn),但是為了降低成本,很多廠商開(kāi)始把產(chǎn)線升級(jí)到 6 英寸。

在低頻段,GaAs HBT 的柵極長(zhǎng)度通常在 0.25 至 0.5 微米之間,“要做到毫米波頻率,多數(shù)器件廠商會(huì)選用柵極長(zhǎng)度在 0.1 至 0.15 微米的工藝,”Higham 說(shuō),“Qorvo 推出了 90nm 的 GaAs 工藝,不過(guò) 90nm 已經(jīng)是現(xiàn)在量產(chǎn) GaAs 工藝的極限尺寸了。”

基礎(chǔ)設(shè)施
實(shí)際應(yīng)用中,帶相控陣天線的手機(jī)將發(fā)射信號(hào)給基站和微蜂窩基站,基站和微蜂窩基站將與相控陣天線對(duì)接以實(shí)現(xiàn)信號(hào)連接。

要實(shí)現(xiàn)上述功能,還有一些問(wèn)題要解決。例如,天氣狀況會(huì)影響信號(hào)路徑。“在毫米波頻段,由于氧氣和吸收造成的路徑損失會(huì)更大,”Anokiwave CEO Robert Donahue 說(shuō)道,“解決方法是采用波束成型技術(shù)。”

Anokiwave 剛剛發(fā)布一款被稱為“5G 四核”的 IC,工作頻率為 28GHz,具備相控陣功能。這款 IC 使用硅鍺工藝,可用于微蜂窩基站等系統(tǒng)。

理論上,這種芯片可與基站通信。與 4G 不同,4.5G 和 5G 設(shè)備必須支持大規(guī)模 MIMO 技術(shù)?;臼褂玫纳漕l功率管一般采用 LDMOS 工藝,但現(xiàn)在 LDMOS 工藝正在被氮化鎵GaN)工藝取代。

“和 LTE-A 一樣,5G 基礎(chǔ)設(shè)施也會(huì)移到更高的頻率以拓寬數(shù)據(jù)帶寬,”穩(wěn)懋半導(dǎo)體高級(jí)副總裁 David Danzilio 說(shuō)道,穩(wěn)懋半導(dǎo)體提供 GaAs 和 GaN 工藝代工服務(wù)。“隨著 LTE 邁向更高頻率,GaN 技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始擴(kuò)大市場(chǎng)份額。”

現(xiàn)在,大多數(shù) GaN 器件使用 3 英寸或者 4 英寸線來(lái)生產(chǎn),但據(jù) Strategy Analytics 的消息,Qorvo 在 2016 年底可以將其 GaN 產(chǎn)線升級(jí)到 6 英寸。GaN 工藝尺寸正在從 0.25 至 0.5 微米向 0.15 微米轉(zhuǎn)換,技術(shù)領(lǐng)先的廠商已經(jīng)在嘗試 60 納米。

“GaN 是一種寬禁帶材料,”Strategy Analytics 的 Higham 說(shuō),“這意味著 GaN 能夠耐受更高的電壓,也意味著 GaN 器件的功率密度和可工作溫度更高。所以,與 GaAs 和磷化銦(InP)等其他高頻工藝相比,GaN 器件輸出的功率更大;與 LDMOS 和 SiC碳化硅)等其他功率工藝相比,GaN 的頻率特性更好。”

將來(lái),5G 手機(jī)中的 PA 甚至也可以用 GaN 來(lái)制造。“GaN 也會(huì)被采用,特別是在高頻率應(yīng)用。”Qorvo 無(wú)線基礎(chǔ)設(shè)施與產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理 Sumit Tomar 說(shuō)。

軍用手機(jī)中已經(jīng)開(kāi)始使用 GaN 器件,但普通智能手機(jī)用上 GaN 器件還要等上一段時(shí)間,因?yàn)橹挥性诘凸β?GaN 工藝上取得突破,GaN 器件才能放入智能手機(jī)。

測(cè)試難題
測(cè)試測(cè)量大概是 5G 生產(chǎn)制造流程中最困難的一環(huán)。與 4G 射頻芯片相比,毫米波的測(cè)試測(cè)量有明顯區(qū)別。

“現(xiàn)在幾乎所有的射頻芯片測(cè)試都是用一根線纜把射頻芯片和測(cè)試設(shè)備連起來(lái),”NI 的 Hall 說(shuō),“采用線纜連接射頻芯片和測(cè)試設(shè)備是為了避免測(cè)試由于路徑損失等原因?qū)е碌牟淮_定性。”

不過(guò)藍(lán)牙等射頻芯片在測(cè)試時(shí),也會(huì)進(jìn)行輻射測(cè)量。量產(chǎn)測(cè)試時(shí),芯片廠商則會(huì)采用相應(yīng)的自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備(ATE)來(lái)進(jìn)行測(cè)試。

但是,毫米波器件的測(cè)試測(cè)量完全是另外一回事。例如,相控陣天線可能是綁定在射頻前端器件上。“(射頻前端器件)封裝就把天線包在里面了,”是德科技 5G 技術(shù)架構(gòu)師 Mike Millhaem 說(shuō),“所以在器件上沒(méi)有射頻接口和端子來(lái)連接到測(cè)試設(shè)備上。”

所以,傳統(tǒng)的采用線纜連接的測(cè)試方法對(duì)于毫米波不適用。那么,該怎么來(lái)測(cè)試毫米波器件呢?

每家廠商有不同的測(cè)試方案,不過(guò)需要把幾臺(tái)昂貴的機(jī)器組合在一起才能完成對(duì)毫米波的測(cè)試測(cè)量。

“現(xiàn)在,毫米波測(cè)試的困難之一是這些頻率的很多信號(hào)帶寬很寬,”NI 的 Hall 說(shuō),“毫米波器件的量產(chǎn)測(cè)試方法有現(xiàn)成的,但調(diào)制測(cè)試還沒(méi)有。工程師能夠買到 100GHz 或更高頻率的矢量信號(hào)分析儀(VNA),但矢量信號(hào)分析儀只適合測(cè)量 S 參數(shù)。”

矢量信號(hào)分析儀適合測(cè)量濾波器、耦合器功放。“然而,矢量信號(hào)分析儀無(wú)法測(cè)試調(diào)制質(zhì)量,但調(diào)制質(zhì)量是射頻芯片的重要參數(shù)。”Hall 說(shuō)道。

不過(guò) Hall 認(rèn)為 28GHz 器件是可以測(cè)量的,“28GHz 5G 的標(biāo)準(zhǔn)要求 500MHz 帶寬,這可以做沒(méi)有問(wèn)題。”

但是測(cè)量 60GHz 器件還是有難度,“有幾家公司在開(kāi)發(fā) 802.11ad 測(cè)試方案,但現(xiàn)在我相信沒(méi)有一家 WiGig 的測(cè)試方案可以商用。”Hall 說(shuō),“由于缺乏測(cè)試方法,工程師只能依靠‘標(biāo)準(zhǔn)被測(cè)器件’的方法,如果一顆 WiGig 射頻芯片能夠進(jìn)行通信,我們認(rèn)為這顆芯片就是好的。這種方法很不可靠,因?yàn)槿狈y(cè)試手段,所以現(xiàn)在市場(chǎng)上的 WiGig 產(chǎn)品很多都有質(zhì)量問(wèn)題。”

封裝
軍用毫米波產(chǎn)品大多采用陶瓷或者金屬封裝,這些封裝可靠性很好,但是成本很高。

所以民用市場(chǎng)在考慮采用 QFN 封裝和多芯片模組,以及其他適合毫米波的先進(jìn)封裝。“廠商也在扇出和嵌入式封裝方面進(jìn)行嘗試。”日月光副總裁 Harrison Chang 說(shuō)。

實(shí)際上,在毫米波芯片封裝上,封裝工程師必須考慮更多的因素,嘗試更多的方法。“(毫米波的)射頻前端要復(fù)雜得多,”Chang 說(shuō),“我們必須保證封裝的結(jié)構(gòu),例如連線、墊盤(pad)和通孔,使之不會(huì)妨礙到芯片上的射頻設(shè)計(jì)。”

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