南大光電：公司已建成兩條ArF光刻膠生產線，合計產能25噸

集微網消息（文/林雪瑩）3月25日，南大光電在投資者互動平臺就投資者關于“193nm光刻膠項目第二條生產線是否建設完畢，是否進行投產，如還未完工預計何時完工”等問詢作出回應稱，公司已建成兩條ArF光刻膠生產線，合計產能25噸。

此外，就寧波芯港小鎮(zhèn)南大三期項目建設進度，南大光電回應稱該工廠已經建成。

據了解，南大光電多年來專注于關鍵半導體材料的技術研發(fā)，憑借多年的自主研發(fā)和實踐積累，掌握了MO源、高純ALD/CVD前驅體、氫類電子特氣、含氟電子特氣、ArF光刻膠等關鍵電子材料的核心技術，先后承擔了國家863計劃MO源全系列產品產業(yè)化項目及多項國家“02專項”項目，攻克了多個技術難題。半導體材料的研發(fā)，需要高端技術人才及行業(yè)專家的引領和驅動。本次激勵計劃授予價格有利于公司吸引、留住更多優(yōu)秀人才，持續(xù)激發(fā)企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)效的內生長加速度，全面塑造人才引領產業(yè)、產業(yè)匯聚人才的企業(yè)生態(tài)文化。

在MO源方面，公司除了在MO源2.0研發(fā)方面取得進展外，在高純、低硅低氧三甲基鋁方面加大研發(fā)力度，也取得了關鍵性的進展，為MO源業(yè)務從LED向IC、新能源行業(yè)的升級轉型奠定基礎。前驅體方面，除了有客制產品的研發(fā)和產業(yè)化外，還要將去年從杜邦集團買入的硅前驅體專利進行研發(fā)和產業(yè)化，目前進展順利。

在電子特氣方面，最新升級的超高純砷烷產品品質在下游客戶的測試中已超過目前國際先進同行的技術水平，超高純磷烷產品進入國際一流制程的芯片企業(yè)，標志著公司氫類電子特氣已躍居世界前列?；鞖夥矫娴难邪l(fā)進展也比較好，正在積極應對新能源產業(yè)和半導體行業(yè)升級需求。