如有針對(duì)專利技術(shù)的轉(zhuǎn)化合作意向,歡迎聯(lián)系:王老師,18918566963,292316546@qq.com
成果簡(jiǎn)介
光學(xué)相控陣芯片能夠控制光束空間掃描,在激光雷達(dá)、三維掃描、三維成像、激光測(cè)距等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。本成果是一種硅和氮化硅混合光波導(dǎo)的,大角度掃描、窄發(fā)散角的光學(xué)相控陣芯片,集成了光耦合器、分束器、PN結(jié)型和熱光型相位調(diào)制器、單波導(dǎo)雙光柵單向輻射器等。目前光束發(fā)散角0.021度×0.027度,橫向市場(chǎng)掃描角度可以達(dá)到140度,縱向通過(guò)調(diào)節(jié)波長(zhǎng),可以達(dá)到19度,點(diǎn)點(diǎn)切換時(shí)間30微秒,平均功耗小于1微瓦。
應(yīng)用領(lǐng)域
激光雷達(dá),三維掃描,三維成像,激光測(cè)距。
知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況
授權(quán)發(fā)明專利2項(xiàng)
成果圖片