真空發(fā)生器是一種可以產(chǎn)生低壓或高真空環(huán)境的設備。它主要由真空容器、真空系統(tǒng)和真空源等組成。
1.真空發(fā)生器和真空泵的區(qū)別
真空發(fā)生器和真空泵的最大區(qū)別是在操作原理上。真空發(fā)生器是利用物理吸附、化學吸附、金屬表面互作用等方式來減壓的。而真空泵則是通過機械排氣和分子擴散兩種途徑來實現(xiàn)減壓的。
2.真空發(fā)生器的工作原理
真空發(fā)生器工作時,將外部氣體抽入真空容器形成真空環(huán)境。其中,真空系統(tǒng)包含氣閥、真空傳感器、真空管路等組件。真空源則包括渦輪分子泵、離子泵、擴散泵等。這些組成部分相互配合協(xié)同作用,形成一個可以控制氣體壓強的真空環(huán)境。
3.真空發(fā)生器的應用領域
真空發(fā)生器廣泛應用于各種科學實驗、半導體加工、電子顯微鏡、光譜儀、涂層等領域。在這些應用中,它常常作為核心組件來控制氣體環(huán)境,保證實驗或加工的精度和可靠性。
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