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晶圓制造的Cycle Time、Uptime都是什么？“鳥喙效應”，“Inline 監(jiān)控” 又是什么鬼？晶圓生產工藝有哪些術語？制造環(huán)節(jié)中的各種工藝又該如何理解？本期內容我們整理了與非網上近50篇晶圓制造的相關科普，一鍵收藏你還等什么？?。?

  • 晶圓生產工藝相關的常見術語
    在晶圓制造工藝中，有許多專業(yè)術語涉及到不同的設備、步驟和過程。以下是對這些術語的通俗易懂解釋：Process Flow（工藝流程）：指整個晶圓制造過程中每個工藝步驟的順序。它是確保每個工藝按計劃依次進行的藍圖。比如從光刻、刻蝕到薄膜沉積，每一步都有明確的安排。
    晶圓生產工藝相關的常見術語
  • 如何理解晶圓制造的良率（Yield）
    在晶圓制造中，良率的管理和提升是一個復雜而持續(xù)的過程，需要在工藝、設計、材料、設備等多個方面進行綜合的優(yōu)化和管理。通過數據的分析、持續(xù)改進的策略、客戶協(xié)同的優(yōu)化，最終實現良率的最大化，提高產品質量和產線效率。
    如何理解晶圓制造的良率（Yield）
  • 如何理解晶圓制造的Cycle Time
    在半導體制造領域中，Cycle Time（循環(huán)時間）是一個非常關鍵的指標，它直接影響生產效率和整體產能。Cycle Time 通常指的是從一個批次的產品開始生產到完成所有工藝步驟并準備好進入下一階段的時間總和。這個指標涵蓋了從材料準備到成品出廠的整個過程，因此對制造流程中的各個環(huán)節(jié)都有影響。
    如何理解晶圓制造的Cycle Time
  • 什么是晶圓lot？
    Lot在半導體制造中是管理生產流程、保證產品質量、優(yōu)化工藝流程的重要組成部分。它通過將晶圓分批處理和管理，確保了產品的一致性、質量控制和數據分析的有效性。
    什么是晶圓lot？
    2.2萬 2024/09/02 晶圓制造
  • 什么是晶圓制造設備的uptime？
    Uptime是評估設備性能和生產效率的核心指標之一。在半導體制造領域，設備Uptime的提高不僅可以顯著提升產能和良率，還能減少運營成本。因此，通過優(yōu)化設備維護策略、提高故障排除能力、改進備件管理以及持續(xù)優(yōu)化機臺流程，可以有效提升設備的Uptime。
    1.5萬 2024/08/18 晶圓制造
  • SOI晶圓的結構、分類、優(yōu)勢、下游應用
    1. 什么是SOI技術？SOI（Silicon-On-Insulator）是一種半導體制造技術，其中硅晶圓的一部分被絕緣層（通常是二氧化硅）隔離開來，這樣可以有效地減少寄生電容和漏電流，提升器件性能。
    SOI晶圓的結構、分類、優(yōu)勢、下游應用
    4560 2024/09/02 SOI SOI技術
  • 晶圓制造之化學氣相沉積CVD工藝
    在制造集成電路時，有時候我們需要在硅片（也就是晶圓）表面上沉積一些特定的材料層，比如氮化硅（Si?N?）或氮氧化硅（SiON）。這些材料層不能直接從基板上生成，所以我們采用化學氣相沉積（CVD）這種方法。
    晶圓制造之化學氣相沉積CVD工藝
  • 晶圓制造的PEP升級是什么意思？
    機臺的PEP升級是指提升晶圓制造設備的性能、效率和產能的一系列過程。PEP代表“Performance Enhancement Package”，即性能增強包。這個過程通常包括對硬件、軟件以及工藝流程的優(yōu)化和升級。
  • 晶圓制造機臺的Throughput是什么意思？
    在晶圓制造工藝中，“機臺Throughput”是指一臺設備在特定時間內能夠處理的晶圓數量，通常以每小時處理的晶圓數來衡量。Throughput是評價半導體制造設備性能的一個關鍵指標，直接影響到Fab工廠的生產效率和產量。因此，提高機臺Throughput是晶圓廠中非常重要的工作目標之一。
  • 晶圓制造中的“鳥喙效應”（bird beak）
    集成電路采用LOCOS（Local Oxidation of Silicon）工藝時會出現“鳥喙效應”（bird beak），這是一種在氧化硅生長過程中，由于氧化物側向擴展引起的現象。
  • 晶圓制造新機臺的RFQ、裝機、final test、PM、Troubleshooting是什么意思？
    在半導體晶圓制造過程中，RFQ（Request for Quotation）制定、新機臺的move in、裝機、final test、parts管理、PM（預防性維護）能力以及Troubleshooting（故障排除）能力都是至關重要的環(huán)節(jié)。以下是對這些術語的解釋：
    晶圓制造新機臺的RFQ、裝機、final test、PM、Troubleshooting是什么意思？
  • 晶圓制造中如何理解“Inline監(jiān)控”
    Inline監(jiān)控指的是在晶圓制造的過程中，實時監(jiān)控和分析工藝步驟中關鍵參數和性能指標的一種方法。這個過程貫穿于晶圓制造的整個流程，包括前道（如光刻、刻蝕、薄膜沉積等）和后道（如金屬化、封裝等）工藝。Inline監(jiān)控的主要目的是在制造過程中盡早發(fā)現潛在的問題，減少良率損失，并確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。
    晶圓制造中如何理解“Inline監(jiān)控”

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