靜電吸盤

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靜電吸盤（Electrostatic Chuck，ESC）是一種利用靜電力吸附晶圓（wafer）于基座上的夾持裝置，廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻（Etch）、離子注入（Implant）等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。

靜電吸盤（Electrostatic Chuck，ESC）是一種利用靜電力吸附晶圓（wafer）于基座上的夾持裝置，廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻（Etch）、離子注入（Implant）等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。收起

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  • 萬萬沒想到，靜電卡盤的項(xiàng)目也開始卷了
    我還是低估了國內(nèi)半導(dǎo)體項(xiàng)目創(chuàng)業(yè)的內(nèi)卷程度了靜電卡盤的項(xiàng)目在幾年前可是超級香餑餑，而今年年初我在統(tǒng)計(jì)相關(guān)供應(yīng)商的時(shí)候就發(fā)現(xiàn)國內(nèi)出現(xiàn)太多相關(guān)項(xiàng)目了當(dāng)時(shí)我已經(jīng)在感嘆這個(gè)行業(yè)也開始內(nèi)卷?？墒亲罱以谡碓O(shè)備陶瓷零部件的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)庫里又新增了好幾家供應(yīng)商。
    萬萬沒想到，靜電卡盤的項(xiàng)目也開始卷了
  • 什么是靜電吸盤（ESC）？
    靜電吸盤（Electrostatic Chuck，ESC）是一種利用靜電力吸附晶圓（wafer）于基座上的夾持裝置，廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻（Etch）、離子注入（Implant）等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。
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    05/09 09:12
    什么是靜電吸盤（ESC）？