靜電吸盤

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靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。

靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。收起

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    我還是低估了國內(nèi)半導體項目創(chuàng)業(yè)的內(nèi)卷程度了靜電卡盤的項目在幾年前可是超級香餑餑,而今年年初我在統(tǒng)計相關(guān)供應商的時候就發(fā)現(xiàn)國內(nèi)出現(xiàn)太多相關(guān)項目了當時我已經(jīng)在感嘆這個行業(yè)也開始內(nèi)卷??墒亲罱以谡碓O(shè)備陶瓷零部件的時候,發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)庫里又新增了好幾家供應商。
    萬萬沒想到,靜電卡盤的項目也開始卷了
  • 什么是靜電吸盤(ESC)?
    靜電吸盤(Electrostatic Chuck,ESC)是一種利用靜電力吸附晶圓(wafer)于基座上的夾持裝置,廣泛應用于等離子蝕刻(Etch)、離子注入(Implant)等真空環(huán)境下的晶圓制程工藝中。
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    05/09 09:12
    什么是靜電吸盤(ESC)?

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