芯耀
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一、背景闡述
在半導(dǎo)體超精密制造領(lǐng)域，振動(dòng)是一個(gè)常見(jiàn)的問(wèn)題，地基的振動(dòng)速度過(guò)大和工作面的移動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)沖擊，對(duì)于設(shè)備生產(chǎn)精度把控和生產(chǎn)產(chǎn)能提升將受較大影響。地基的振動(dòng)根據(jù)行業(yè)應(yīng)用精度劃分有不同的VC等級(jí)，工作臺(tái)面的振動(dòng)可參考VC等級(jí)做初步評(píng)估是否有影響。
在工作臺(tái)受振動(dòng)影響時(shí)，傳統(tǒng)解決方案采用被動(dòng)減振來(lái)減少振動(dòng)路徑傳遞和增加被動(dòng)阻尼減少臺(tái)面振動(dòng)帶來(lái)的振蕩周期，被動(dòng)減振有一定的振動(dòng)衰減效果但也僅作用于部分高頻狀態(tài)，被動(dòng)減振在低頻振動(dòng)傳遞衰減和振蕩抑制均無(wú)最佳效果，所以被動(dòng)減振不為最佳解決方案。
為了解決振動(dòng)問(wèn)題，主動(dòng)隔振技術(shù)被引入到半導(dǎo)體制造中，相對(duì)于被動(dòng)減振，主動(dòng)減振系統(tǒng)增加控制系統(tǒng)來(lái)減少振動(dòng)路徑傳遞和振動(dòng)后的快速抑制，從而提升了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
二、工作原理
主動(dòng)隔振技術(shù)的工作原理基于反饋控制系統(tǒng)+前饋控制系統(tǒng)，通過(guò)傳感器感知外界振動(dòng)信號(hào)，并將其發(fā)送給控制器。 控制器根據(jù)傳感器信號(hào)實(shí)時(shí)調(diào)整執(zhí)行器的工作狀態(tài)，通過(guò)傳感器與執(zhí)行器的結(jié)合達(dá)到控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。從振動(dòng)路徑傳遞的降低到振動(dòng)源產(chǎn)生后的基于反饋控制快速抑制和運(yùn)動(dòng)帶來(lái)的振動(dòng)杜絕，主動(dòng)減振在振動(dòng)減振方面充分體現(xiàn)其全性能優(yōu)勢(shì)。
三、格藍(lán)若產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
格藍(lán)若主動(dòng)減振產(chǎn)品具備完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，在國(guó)內(nèi)外布局多項(xiàng)技術(shù)發(fā)明專(zhuān)利，控制系統(tǒng)及算法領(lǐng)域擁有多項(xiàng)軟件著作權(quán)。產(chǎn)品產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)100%國(guó)產(chǎn)化能力，產(chǎn)品核心技術(shù)自主可控，產(chǎn)品性能領(lǐng)先于國(guó)際水平。
格藍(lán)若精密主動(dòng)減振產(chǎn)品體系覆蓋SFV真空系列、SFN復(fù)合彈簧系列、SFT氣浮系列、FSD一體式抗沖擊系列、SST鋼彈簧系列及PAD一體式隔振平臺(tái)等。以上產(chǎn)品系列在精密制造，精密機(jī)床、航空航天、電子電鏡、顯微測(cè)量等場(chǎng)景廣泛應(yīng)用。
格藍(lán)若解決方案團(tuán)隊(duì)能為客戶提供基礎(chǔ)主動(dòng)減振產(chǎn)品選型路徑參考和定制化開(kāi)發(fā)技術(shù)服務(wù)。從客戶的角度出發(fā)，滿足其對(duì)產(chǎn)品性能、應(yīng)用場(chǎng)景、成本控制等多方面的需求，在產(chǎn)品技術(shù)、質(zhì)量及服務(wù)各方面做到行業(yè)內(nèi)最優(yōu)以替代國(guó)外減振產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)提供國(guó)產(chǎn)化設(shè)備專(zhuān)業(yè)解決方案及定制化設(shè)計(jì)專(zhuān)業(yè)解決方案。
四、應(yīng)用實(shí)例
1、SFV真空系列
在先進(jìn)制造領(lǐng)域，SFV?真空系列減振器能夠滿足?14nm?及以上關(guān)鍵工藝制程設(shè)備的減振需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號(hào)：SFV180A
場(chǎng)景：IC制造樣機(jī)，零部件滿足1E-4Pa真空環(huán)境下正常工作
系統(tǒng)固有頻率：<0.5Hz
振動(dòng)傳遞率：如圖
2、SFN復(fù)合彈簧系列
在先進(jìn)制造領(lǐng)域，SFN?系列減振器可滿足?90nm?及以上關(guān)鍵工藝制程設(shè)備的減振需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號(hào)：SFN160B
場(chǎng)景：90nm制程以下IC制造樣機(jī)
最低系統(tǒng)固有頻率：0.4Hz
振動(dòng)傳遞率：如圖
3、SFT氣浮系列
SFT?系列?A?型減振器擁有極具行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的主動(dòng)減振性能以及較強(qiáng)的抗沖擊能力。在?300nm IC制造以及半導(dǎo)體量測(cè)與檢測(cè)場(chǎng)景中，該產(chǎn)品能夠提供完美的解決方案。
SFT?系列?D?型減振器擁有極具行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的主動(dòng)減振性能以及較強(qiáng)的抗沖擊能力，能夠滿足后道封裝與晶圓高產(chǎn)率檢測(cè)的性能要求。
經(jīng)典案例1：
場(chǎng)景：某國(guó)內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測(cè)設(shè)備
振動(dòng)傳遞率：如圖
最大運(yùn)動(dòng)質(zhì)量：50kg
運(yùn)動(dòng)加速度：10m/
整定時(shí)間：41ms
經(jīng)典案例2
產(chǎn)品型號(hào)：SFT080D
場(chǎng)地：某國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠家檢測(cè)設(shè)備；
振動(dòng)傳遞率：附圖
最大運(yùn)動(dòng)質(zhì)量：90kg
運(yùn)動(dòng)加速度：8m/s2
整定時(shí)間：100ms
位移波動(dòng)量：位移臺(tái)定位控制誤差±10nm
4、FSD一體式抗沖擊系列
FSD系列主動(dòng)減振平臺(tái)采用4個(gè)減振模塊集成于一體，每個(gè)模塊以鋼彈簧作為主支撐實(shí)現(xiàn)三向隔振，配合垂向和水平向的主動(dòng)振動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)?6?自由度高性能主動(dòng)減振，可選配精密定位控制功能?？梢詽M足檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備等高性能減振要求。
經(jīng)典案例：
場(chǎng)景：某國(guó)內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測(cè)工件臺(tái)
振動(dòng)傳遞率：如圖
最大運(yùn)動(dòng)質(zhì)量：17kg
運(yùn)動(dòng)加速度：20m/
運(yùn)動(dòng)過(guò)程中位置波動(dòng)：＜±70μm
運(yùn)動(dòng)停止位置波動(dòng)：＜±30μm
穩(wěn)定時(shí)間：10ms
運(yùn)動(dòng)臺(tái)靜態(tài)抖動(dòng)：2nm
5、SST鋼彈簧系列
SST系列減振器基于產(chǎn)品外形縮小和現(xiàn)場(chǎng)供氣量減少的需求，可供小沖擊量測(cè)與檢測(cè)設(shè)備設(shè)計(jì)研發(fā)和量產(chǎn)出貨做選型匹配，滿足6寸，8寸，12寸不同半導(dǎo)體設(shè)備減振與制振的需求。
經(jīng)典案例：
產(chǎn)品型號(hào)：SST050B
場(chǎng)地：某國(guó)內(nèi)龍頭半導(dǎo)體廠家量測(cè)設(shè)備；
振動(dòng)傳遞率：如圖
最大運(yùn)動(dòng)質(zhì)量：30kg
運(yùn)動(dòng)加速度：5m/s2
整定時(shí)間：60ms
位移波動(dòng)量：減振器端±10um
6、兩級(jí)減振
通過(guò)雙層主動(dòng)減振，提供靜態(tài)超高隔振性能同時(shí)在一級(jí)側(cè)可接入運(yùn)動(dòng)臺(tái)，提供運(yùn)動(dòng)臺(tái)前饋信號(hào)。
7、多腿減振方案
為跨距較大或平面尺寸較大提供多腿主動(dòng)減振方案，最多支持64腿方案
多腿主動(dòng)減振平臺(tái)
大跨度多腿減振方案
多腿設(shè)計(jì)提供了更多支撐點(diǎn)，提升了系統(tǒng)的整體穩(wěn)定性。
多腿結(jié)構(gòu)能更均勻地分散負(fù)載，減少單點(diǎn)壓力，降低局部磨損，延長(zhǎng)設(shè)備壽命。
多腿設(shè)計(jì)使減振器能靈活適應(yīng)不同地形和工況，保持穩(wěn)定性和減振效果。
多腿系統(tǒng)具備冗余性，提高系統(tǒng)可靠性。
2025年3月26日至28日，格藍(lán)若精密將在SEMICON CHINA以及慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展兩個(gè)展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)恭候各位專(zhuān)家的光臨，地點(diǎn)位于上海新國(guó)際博覽中心E7-7174,W2-2591，敬請(qǐng)蒞臨指導(dǎo)！
