芯耀
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/美通社/ -- 半導體封裝測試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技（TWSE: 3055）推出業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術，結合多項專利非線性光學組合技術，非破壞性、零接觸、零損傷地直接觀測TGV（Through Glass Via）玻璃內激光改質斷層圖，可精準解析激光改質成效，完整揭示改質連貫性與均勻度，確保制程質量符合設計要求，為TGV制程參數控制帶來革命性突破，將有助于TGV業(yè)者加速量產時程。
蔚華科技SP8000G運用業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術，以非破壞性方式精準解析激光改質成效
隨著高速運算、高頻通訊、AI加速器及高效能服務器等應用快速推進，TGV技術成為先進封裝關鍵工藝，具備低介電常數、優(yōu)異熱穩(wěn)定性及高密度I/O整合能力，應用于玻璃芯（Glass Core）與2.5D/3D中介層（Interposer）等高階封裝結構，產業(yè)應用熱度居高不下，發(fā)展?jié)摿嫶?，但TGV前段制程中的激光改質質量長期無法實時掌握，成為良率與成本控制的挑戰(zhàn)，尤其是改變不同高低價位的玻璃材質時。
TGV業(yè)界知名激光改質設備公司海納光電總經理江朝宗表示：“我們非常欣賞與肯定蔚華科技所推出的業(yè)界首創(chuàng)激光斷層掃描檢測設備SP8000G，讓我們能在不破壞玻璃襯底下直接看到激光改質真實分布狀況，這對于我們提升激光改質機性能與質量產生極大幫助。”海納光電長期致力于TGV激光制程材料與工藝開發(fā)，對SpiroxLTS技術高度肯定，相信此技術將為激光制程數據化、可視化奠定基礎，并為材料研發(fā)與制程調校提供精準平臺。海納光電與蔚華科技的技術互補，展現整合開發(fā)與量產應用高度潛力。
SpiroxLTS讓玻璃內部激光改質層可視化，對開發(fā)高質量Glass Core產品極為關鍵。過去在材料開發(fā)與制程優(yōu)化階段，需仰賴破壞性方式才能間接推估改質狀態(tài)，如今可直接取得非破壞性數據，將大幅縮短開發(fā)時程并提升改質均勻性掌控能力。目前為業(yè)界極少數符合AI需求之高質量TGV 玻璃芯襯底供貨商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃內部激光改質層可視化，可凸顯晶呈科技玻璃鉆孔之真圓、準直、孔壁平坦度之優(yōu)異特性，對于玻璃芯襯底量產化及良率提升肯定有幫助?！?/p>
根據TGV業(yè)界封裝襯底金屬化與增層制程的多家主力廠商表示，TGV金屬化與后段增層對孔徑結構與改質質量要求極高，過去信息取得困難，常導致后段制程挑戰(zhàn)。經過實測驗證，SpiroxLTS非破壞性檢測技術可讓業(yè)界在材料與制程驗證階段即導入質量篩選機制，對實現高階封裝TGV襯底的穩(wěn)定量產，具有關鍵意義。
蔚華科技總經理楊燿州表示：“很榮幸SP8000G能成功解決TGV改質無法被看到的問題，并獲得業(yè)界指針性激光改質設備商海納光電、玻璃芯襯底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃襯底技術領導廠商欣興電子的共同肯定。除了激光改質檢測，SP8000G亦能非破壞性地精準檢測TGV蝕刻孔腰身位置、孔壁粗糙度與鍍銅孔壁玻璃裂紋，皆為目前TGV業(yè)界難以找到的檢測解方。相信以SpiroxLTS技術，能大幅加速推動TGV市場量產時程。”楊燿州進一步指出，SpiroxLTS已優(yōu)先導入玻璃芯與中介層等高頻高速封裝應用，支持材料評估、制程導入與量產監(jiān)控，將成為TGV工藝量產的重要推動力。
