芯耀
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制造晶體管和集成電路的關(guān)鍵步驟之一是晶圓加工。晶圓是半導(dǎo)體芯片制造的基礎(chǔ)材料，其表面的平邊或凹槽設(shè)計(jì)有著重要的作用。
平邊的作用
1. 提高晶圓處理的穩(wěn)定性：晶圓的平邊可以保證在整個(gè)生產(chǎn)流程中晶圓保持穩(wěn)定的位置，有助于提高生產(chǎn)過程的精度和可控性。
2. 減少裂紋和碎片：平邊設(shè)計(jì)有助于減少晶圓在加工過程中可能產(chǎn)生的裂紋和碎片，提高晶圓的可靠性和使用壽命。
3. 便于自動(dòng)化生產(chǎn)：平邊可以作為機(jī)器對(duì)齊的基準(zhǔn)，有利于自動(dòng)化生產(chǎn)線上的對(duì)位和加工操作，提高生產(chǎn)效率。
凹槽的作用
1. 分離和標(biāo)記：在實(shí)際生產(chǎn)中，通過在晶圓周圍留有凹槽，可以更容易地進(jìn)行晶圓的分離和標(biāo)記，避免混淆和錯(cuò)誤。
2. 消除殘留物：凹槽可以收集晶圓加工時(shí)產(chǎn)生的切屑和雜質(zhì)，防止這些殘留物進(jìn)入芯片制造的下一個(gè)階段，確保產(chǎn)品品質(zhì)。
3. 降低污染風(fēng)險(xiǎn)：凹槽能夠減少晶圓與加工設(shè)備的接觸面積，降低污染風(fēng)險(xiǎn)，保證晶圓表面的清潔度。
晶圓留有平邊或凹槽不僅僅是一種設(shè)計(jì)需求，更是為了確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性、提高生產(chǎn)效率并保證產(chǎn)品質(zhì)量。
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