晶圓

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晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以 8英寸和 12 英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時(shí)加工1 片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小,加工及測量設(shè)備越來越先進(jìn),使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。同時(shí),特征尺寸的減小,使得晶圓加工時(shí),空氣中的顆粒數(shù)對晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大,而隨著潔凈的提高,顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以 8英寸和 12 英寸為主。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時(shí)加工1 片或多片晶圓。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小,加工及測量設(shè)備越來越先進(jìn),使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。同時(shí),特征尺寸的減小,使得晶圓加工時(shí),空氣中的顆粒數(shù)對晶圓加工后質(zhì)量及可靠性的影響增大,而隨著潔凈的提高,顆粒數(shù)也出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)。收起

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  • 硅不夠用了,接下來靠什么?
    不久前,武漢光谷迎來了一場重磅活動(dòng)——2025九峰山論壇暨化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)。這場會(huì)議的意義遠(yuǎn)不止于展示與交流。在展會(huì)的背后,一個(gè)更為深遠(yuǎn)的趨勢正在浮現(xiàn):化合物半導(dǎo)體正從實(shí)驗(yàn)室走向市場,成為推動(dòng)新一輪技術(shù)革命的核心力量。
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  • 4年900億——英特爾代工打造全球供應(yīng)鏈韌性、實(shí)現(xiàn)18A關(guān)鍵技術(shù)布局
    2025英特爾代工大會(huì)(Intel Foundry Direct Connect)在美國加州圣何塞開幕。剛剛上任5周的英特爾公司首席執(zhí)行官陳立武在大會(huì)上發(fā)表開幕演講,強(qiáng)調(diào)英特爾正在推動(dòng)其代工戰(zhàn)略進(jìn)入下一階段,以及英特爾打造世界一流代工廠的愿景,體現(xiàn)了對代工業(yè)務(wù)的重視和信心。
  • 這家IGBT企業(yè)營收達(dá)22億,增長120%
    據(jù)“揚(yáng)州日報(bào)”4月16日報(bào)道,過去幾年揚(yáng)州市簽約落戶、開工建設(shè)的一批制造業(yè)重點(diǎn)項(xiàng)目,已經(jīng)或即將成長為工業(yè)經(jīng)濟(jì)的壓艙石,其中,比亞迪半導(dǎo)體在揚(yáng)州建設(shè)的功率半導(dǎo)體模組及晶圓生產(chǎn)項(xiàng)目碩果累累。
  • 國產(chǎn)半導(dǎo)體芯片股,大漲!
    中美關(guān)稅博弈,是近日焦點(diǎn)事件。
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  • 晶圓大廠Q1血虧100億!
    三星電子今年第一季度營業(yè)利潤突破
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  • 國產(chǎn)芯片淘汰賽終局猜想
    在這場國產(chǎn)芯片創(chuàng)業(yè)淘汰賽中,很多人都在堅(jiān)持,很多人都在期待終局,又害怕終局。
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    04/07 16:23
    國產(chǎn)芯片淘汰賽終局猜想
  • 近40個(gè)半導(dǎo)體相關(guān)項(xiàng)目上榜,珠海2025重點(diǎn)項(xiàng)目清單公布
    近日,珠海市發(fā)展改革局發(fā)布2025年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃清單。共安排重點(diǎn)項(xiàng)目(含預(yù)備項(xiàng)目)466個(gè),總投資約7600億元,其中建設(shè)項(xiàng)目399個(gè),年度計(jì)劃投資488.67億元;續(xù)建項(xiàng)目193個(gè),年度計(jì)劃投資315.88億元;新開工項(xiàng)目86個(gè),年度計(jì)劃投資75.99億元。
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  • 并購+技術(shù)破局,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商釋放積極信號
    在政策與市場需求雙重推動(dòng)之下,國內(nèi)半導(dǎo)體并購熱潮涌動(dòng),設(shè)備廠商也沒有缺席。繼北方華創(chuàng)宣布入股芯源微之后,國內(nèi)半導(dǎo)體并購再次傳出新動(dòng)態(tài),華海清科完成對芯崳公司收購,加速高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域布局。與此同時(shí),復(fù)雜國際形勢影響下,半導(dǎo)體設(shè)備自主可控重要性不斷凸顯,除了并購之外,國內(nèi)廠商也積極提升技術(shù),推出代表性產(chǎn)品,加速破局與突圍。
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  • 半導(dǎo)體涂層的作用
    學(xué)員問:設(shè)備上常見的涂層有哪些?各有哪些作用?什么是涂層?涂層,是涂敷在晶圓,設(shè)備/配件上的表面的薄層,厚度從納米到幾微米不等,用于改變原有材料的性質(zhì),目的是為了保護(hù)、提升性能或?qū)崿F(xiàn)某種特定功能的作用。
  • 值得一看,全球晶圓操作模組部件供應(yīng)商統(tǒng)計(jì)
    上周發(fā)布了一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺以及相關(guān)部件的數(shù)據(jù),讀者反饋不錯(cuò)。所以今天繼續(xù)發(fā)一個(gè)晶圓操作相關(guān)模組部件的供應(yīng)商列表這個(gè)數(shù)據(jù)之前也有發(fā)布過,但最近一段時(shí)間又有不少更新,所以值得再發(fā)一次供大家參考。
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  • 尼得科3家集團(tuán)公司聯(lián)合參展2025年上海國際半導(dǎo)體展覽會(huì)(Semicon China)
    尼得科集團(tuán)旗下尼得科精密檢測設(shè)備(浙江)有限公司、尼得科鴻測電子(蘇州)有限公司以及尼得科儀器(上海)有限公司將聯(lián)合參展3月26日~28日于上海新國際博覽中心舉辦的2025年上海國際半導(dǎo)體展覽會(huì)(Semicon China)。 上海國際半導(dǎo)體展覽會(huì)(Semicon China)由中國電子商會(huì)、SEMI China主辦,覆蓋芯片設(shè)計(jì)、制造、封測、設(shè)備、材料、光伏、顯示等全產(chǎn)業(yè)鏈,現(xiàn)已成為中國重要的半
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  • 青禾晶元發(fā)布全球首臺獨(dú)立研發(fā)C2W&W2W雙模式混合鍵合設(shè)備
    中國半導(dǎo)體鍵合集成技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)青禾晶元半導(dǎo)體科技(集團(tuán))有限責(zé)任公司(簡稱“青禾晶元”)宣布,正式推出全球首臺C2W&W2W雙模式混合鍵合設(shè)備SAB8210CWW。作為先進(jìn)半導(dǎo)體鍵合集成技術(shù)與解決方案的提供商,青禾晶元此次發(fā)布標(biāo)志著公司在技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域的又一重要突破。 青禾晶元新推出的混合鍵合設(shè)備SAB8210CWW具備多尺寸晶圓兼容、超強(qiáng)芯片處理能力、兼容不同的對準(zhǔn)方式等優(yōu)勢,可以幫
    青禾晶元發(fā)布全球首臺獨(dú)立研發(fā)C2W&W2W雙模式混合鍵合設(shè)備
  • DeepSeek會(huì)沖擊晶圓需求嗎?
    生成式AI的影響將導(dǎo)致DRAM晶圓的需求急劇增加。2025年1月20日,世界遭受“DeepSeek沖擊”。這是因?yàn)?,中國初?chuàng)AI公司DeepSeek發(fā)布了與OpenAI的GPT-4相當(dāng)?shù)拇笠?guī)模語言模型(LLM)DeepSeek-R1(以下簡稱R1)。R1的研發(fā)僅用了兩個(gè)月的時(shí)間,成本僅為560萬美元,僅為其他公司成本的一小部分。
    DeepSeek會(huì)沖擊晶圓需求嗎?
  • 碳化硅襯底的特氟龍夾具相比其他吸附方案,對于測量碳化硅襯底 BOW/WARP 的影響
    一、引言隨著碳化硅在半導(dǎo)體等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,對其襯底質(zhì)量的檢測愈發(fā)關(guān)鍵。BOW(翹曲度)和 WARP(彎曲度)是衡量碳化硅襯底質(zhì)量的重要參數(shù),準(zhǔn)確測量這些參數(shù)對于保證器件性能至關(guān)重要。而不同的吸附方案會(huì)對測量結(jié)果產(chǎn)生不同程度的影響。二、常見吸附方案概述在碳化硅襯底測量中,常見的吸附方案包括真空吸附、靜電吸附等。真空吸附通過產(chǎn)生負(fù)壓將襯底固定,操作相對簡單,但可能存在吸附不均勻的情況。靜電吸附則利用
    碳化硅襯底的特氟龍夾具相比其他吸附方案,對于測量碳化硅襯底 BOW/WARP 的影響
  • 測量探頭的 “溫漂” 問題,都是怎么產(chǎn)生的,以及對于氮化鎵襯底厚度測量的影響
    在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)這片高精尖的領(lǐng)域中,氮化鎵(GaN)襯底作為新一代芯片制造的核心支撐材料,正驅(qū)動(dòng)著光電器件、功率器件等諸多領(lǐng)域邁向新的高峰。然而,氮化鎵襯底厚度測量的精準(zhǔn)度卻時(shí)刻面臨著一個(gè)來自暗處的挑戰(zhàn) —— 測量探頭的 “溫漂” 問題。深入探究 “溫漂” 的產(chǎn)生根源,以及剖析其給氮化鎵襯底厚度測量帶來的全方位影響,對于保障半導(dǎo)體制造工藝的高質(zhì)量推進(jìn)有著舉足輕重的意義。一、“溫漂” 現(xiàn)象的滋生土壤1,
    測量探頭的 “溫漂” 問題,都是怎么產(chǎn)生的,以及對于氮化鎵襯底厚度測量的影響
  • 特氟龍夾具的晶圓夾持方式,相比真空吸附方式,對測量晶圓 BOW 的影響
    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)母材,其質(zhì)量把控的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一便是對 BOW(彎曲度)的精確測量。而在測量過程中,特氟龍夾具的晶圓夾持方式與傳統(tǒng)的真空吸附方式有著截然不同的特性,這些差異深刻影響著晶圓 BOW 的測量精度與可靠性,對整個(gè)半導(dǎo)體工藝鏈的穩(wěn)定性起著不可忽視的作用。一、真空吸附方式剖析真空吸附方式長期以來在晶圓測量領(lǐng)域占據(jù)主導(dǎo)地位。它借助布滿吸盤表面的微小氣孔,通過抽真空操作,使晶圓
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  • 測量探頭的 “溫漂” 問題,對于氮化鎵襯底厚度測量的實(shí)際影響
    在半導(dǎo)體制造這一微觀且精密的領(lǐng)域里,氮化鎵(GaN)襯底作為高端芯片的關(guān)鍵基石,正支撐著光電器件、功率器件等眾多前沿應(yīng)用蓬勃發(fā)展。然而,氮化鎵襯底厚度測量的準(zhǔn)確性卻常常受到一個(gè)隱匿 “敵手” 的威脅 —— 測量探頭的 “溫漂” 問題。這一看似細(xì)微的現(xiàn)象,實(shí)則對氮化鎵襯底厚度測量產(chǎn)生著諸多深遠(yuǎn)且實(shí)際的影響,關(guān)乎整個(gè)半導(dǎo)體制造工藝的成敗。一、“溫漂” 現(xiàn)象的內(nèi)在成因測量探頭的 “溫漂”,本質(zhì)上源于溫度
    測量探頭的 “溫漂” 問題,對于氮化鎵襯底厚度測量的實(shí)際影響
  • 不同的氮化鎵襯底的吸附方案,對測量氮化鎵襯底 BOW/WARP 的影響
    在當(dāng)今高速發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)浪潮中,氮化鎵(GaN)襯底宛如一顆耀眼的新星,憑借其卓越的電學(xué)與光學(xué)性能,在眾多高端芯片制造領(lǐng)域,尤其是光電器件、功率器件等方向,開拓出廣闊的應(yīng)用天地。然而,要想充分發(fā)揮氮化鎵襯底的優(yōu)勢,確保其 BOW(彎曲度)和 WARP(翹曲度)的精準(zhǔn)測量至關(guān)重要,因?yàn)檫@直接關(guān)聯(lián)到后續(xù)芯片制造工藝的良率與性能表現(xiàn)。不同的吸附方案恰似一雙雙各異的 “巧手”,在測量氮化鎵襯底 BOW/
    不同的氮化鎵襯底的吸附方案,對測量氮化鎵襯底 BOW/WARP 的影響
  • 氮化鎵襯底的環(huán)吸方案相比其他吸附方案,對于測量氮化鎵襯底 BOW/WARP 的影響
    在半導(dǎo)體領(lǐng)域的璀璨星河中,氮化鎵(GaN)襯底正憑借其優(yōu)異的性能,如高電子遷移率、寬禁帶等特性,在光電器件、功率器件等諸多應(yīng)用場景中嶄露頭角,成為推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。而對于氮化鎵襯底而言,其 BOW(彎曲度)和 WARP(翹曲度)的精確測量是保障后續(xù)芯片制造工藝精準(zhǔn)實(shí)施的重要前提,不同的吸附方案在這一測量環(huán)節(jié)中扮演著截然不同的角色,其中環(huán)吸方案更是以獨(dú)特優(yōu)勢與其他方案形成鮮明對比,對測量結(jié)果產(chǎn)
    氮化鎵襯底的環(huán)吸方案相比其他吸附方案,對于測量氮化鎵襯底 BOW/WARP 的影響

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