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X射線光電子能譜技術(shù)（XPS）是電子材料與元器件顯微分析中的一種先進分析技術(shù)，而且是和俄歇電子能譜技術(shù)（AES）常常配合使用的分析技術(shù)。由于它可以比俄歇電子能譜技術(shù)更準確地測量原子的內(nèi)層電子束縛能及其化學位移，所以它不但為化學研究提供分子結(jié)構(gòu)和原子價態(tài)方面的信息，還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、 化學狀態(tài)、分子結(jié)構(gòu)、化學鍵方面的信息。它在分析電子材料時，不但可提供總體方面的化學信息，還能給出表面、微小區(qū)域和深度分布方面的信息。 另外，因為入射到樣品表面的X射線束是一種光子束，所以對樣品的破壞性非常小，這一點對分析有機材料和高分子材料非常有利。

X射線光電子能譜技術(shù)（XPS）是電子材料與元器件顯微分析中的一種先進分析技術(shù)，而且是和俄歇電子能譜技術(shù)（AES）常常配合使用的分析技術(shù)。由于它可以比俄歇電子能譜技術(shù)更準確地測量原子的內(nèi)層電子束縛能及其化學位移，所以它不但為化學研究提供分子結(jié)構(gòu)和原子價態(tài)方面的信息，還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、 化學狀態(tài)、分子結(jié)構(gòu)、化學鍵方面的信息。它在分析電子材料時，不但可提供總體方面的化學信息，還能給出表面、微小區(qū)域和深度分布方面的信息。 另外，因為入射到樣品表面的X射線束是一種光子束，所以對樣品的破壞性非常小，這一點對分析有機材料和高分子材料非常有利。收起

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