芯耀
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2025年6月27日，青島思銳智能半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心在青島自貿(mào)片區(qū)正式落成投產(chǎn)，該項(xiàng)目由青島思銳智能科技股份有限公司（以下簡稱“思銳智能”）與青島城投集團(tuán)聯(lián)合打造，是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化進(jìn)程的重要里程碑。
項(xiàng)目核心信息
規(guī)模與投資
占地面積：約95畝，總建筑面積8.6萬-8.9萬平方米
投資金額：超12億元人民幣，連續(xù)兩年入選山東省及青島市重點(diǎn)項(xiàng)目
產(chǎn)能目標(biāo)：年產(chǎn)量達(dá)百臺半導(dǎo)體核心設(shè)備，聚焦原子層沉積（ALD）和離子注入機(jī)（IMP）兩大前道設(shè)備
最新最全半導(dǎo)體設(shè)備零部件深度研究報(bào)告整理（點(diǎn)贊收藏）
戰(zhàn)略意義
填補(bǔ)空白：結(jié)束青島無半導(dǎo)體核心裝備研發(fā)制造能力的歷史，完善當(dāng)?shù)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E9%9B%86%E6%88%90%E7%94%B5%E8%B7%AF%E4%BA%A7%E4%B8%9A/">集成電路產(chǎn)業(yè)鏈.
技術(shù)自主：思銳智能是國內(nèi)唯一同時(shí)突破ALD與IMP關(guān)鍵技術(shù)并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)。
技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)化能力
核心技術(shù)布局
ALD設(shè)備：2018年收購芬蘭倍耐克（BENEQ）100%股權(quán)，整合全球領(lǐng)先技術(shù)并實(shí)現(xiàn)本土化量產(chǎn)。
IMP設(shè)備：自主研發(fā)高能離子注入機(jī)，2023年交付國內(nèi)頭部客戶，打破國外壟斷。
全球?qū)＠核间J智能及子公司擁有480余項(xiàng)專利，覆蓋40個(gè)國家/地區(qū)，服務(wù)超500家全球客戶。
產(chǎn)業(yè)化能力：中心定位為“技術(shù)-制造-生態(tài)”樞紐，推動(dòng)ALD+IMP雙主線技術(shù)從研發(fā)到量產(chǎn)的完整能力。
加速突破關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，深化在集成電路、第三代半導(dǎo)體（如碳化硅、氮化鎵）等領(lǐng)域的應(yīng)用。
制造中心總占地約?95?畝，總建筑面積達(dá)8.6?萬平方米，計(jì)劃投資超?12?億元，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機(jī)（IMP）兩大核心半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)與量產(chǎn)。它的投產(chǎn)填補(bǔ)了青島在半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域的空白，標(biāo)志著青島在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新和高端裝備制造領(lǐng)域邁出重要一步。
青島思銳智能科技股份有限公司董事長聶翔參與了落成投產(chǎn)活動(dòng)。聶董事長表示，該中心不僅是一座年產(chǎn)百臺設(shè)備的生產(chǎn)基地，更是構(gòu)建?“技術(shù)?-?制造?-?生態(tài)”?閉環(huán)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。公司將依托該中心加速突破?ALD、IMP?等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，深化在集成電路、功率化合物等領(lǐng)域的布局。
中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人物張汝京，歐洲科學(xué)院院士、北京超弦存儲器研究院執(zhí)行院長趙超，青島西海岸新區(qū)工委副書記、青島自貿(mào)片區(qū)管委主任高善武，青島市委統(tǒng)戰(zhàn)部副部長、市工商聯(lián)黨組書記劉傳華，片區(qū)工委委員、管委副主任斌，青島城投集團(tuán)黨委書董事長李蔚，青島思銳智能科技股份有限公司董事長聶翔等領(lǐng)導(dǎo)嘉賓出席活動(dòng)。
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