• 晶圓廠為什么常用IPA而不用酒精?
    學(xué)員問:在12吋/8吋 fab中,是嚴禁使用乙醇酒精做主清洗劑的,為什么?IPA在晶圓廠中的應(yīng)用?IPA是異丙醇,主要用于晶圓清洗,刻蝕,設(shè)備裝機,PM等。幾乎出現(xiàn)在晶圓廠各個區(qū)域中。
    晶圓廠為什么常用IPA而不用酒精?

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